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    2. <span id="g57hi"><optgroup id="g57hi"></optgroup></span>
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  2. 
        cosmos新宇宙

        
      
        
    
      
    3. 
      
  3. 
        SUPER塑寶

        
      
        
    
      
    4. 
      
  4. 
        日本MCRL村上色彩

        
      
        
    
      
    5. 
      
  5. 
        NITTO   KOHKI日...

        
      
        
    
      
    6. 
      
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        MUSASHI武藏

        
      
        
    
      
    7. 
      
  7. 
        JBC

        
      
    8. 
      
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        kobelco神鋼

        
      
        
    
      
    9. 
      
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        HYPOWER航裕電源

        
      
    10. 
      
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        SINDIN晟鼎精密

        
      
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    13. 
      
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        新品動態

        
      
    14. 
      
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    17. 
      
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        chuhatsu中央發明研究...

        
      
    18. 
      
  18. 
        SUGITOH杉藤

        
      
    19. 
      
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        sugawara菅原

        
      
    20. 
      
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         kotohira琴平工業

        
      
    21. 
      
  21. 
        SANKO山高

        
      
    22. 
      
  22. 
        USHIO牛尾

        
      
    23. 
      
  23. 
        SEN日森

        
      
    24. 
      
  24. 
        EYE巖崎

        
      
    25. 
      
  25. 
        SONIC索尼克

        
      
    26. 
      
  26. 
        柯尼卡美能達

        
      
    27. 
      
  27. 
        TOPCON拓普康

        
      
    28. 
      
  28. 
        HIKARIYA光屋

        
      
        
    
      
    29. 
      
  29. 
        NIPPONMUKI無機

        
      
    30. 
      
  30. 
        AIKOH日本愛光

        
      
    31. 
      
  31. 
        HEIDON新東

        
      
    32. 
      
  32. 
        SAKAGUCHI 坂口電熱

        
      
    33. 
      
  33. 
        tomasu托馬斯

        
      
    34. 
    
  
    


    

    
    

    

                                                

                                                
    
                                                    
                                                    
                                                    
                                                
    
                                                

                                            
    
                                        
    
                                    
    
                                    
    
                                        
    
                                            
    
                                                
    
        
    
        
    
            
    
                
    
                    
                    
                    
                    
                    
                
    
                
    
                
    
                    
    
                        
    
                            產品詳情
                        
    
                        
    
                            
    
                                
                                
                                
                                
                            
    
                            
    
                                
                                
                                
                            
    
                            
    
    
    
    
    
        
    
    
    
            
    

                
    
                    
                    
      
                          
    • 產品名稱：重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統成都及西南區客戶共享資源
      • 
                          
    • 產品型號：全自動EUV POD清潔系統REN
      • 
                          
    • 產品廠商：HUGLE藤宮
      • 
                          
    • 產品價格：0
      • 
                          
    • 折扣價格：0
      • 
                          
    • 產品文檔：
                          
      • 




                    
    
                    
      
                           
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            簡單介紹：
        
    
        
    
            重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統成都及西南區客戶共享資源
重慶內藤機械設備有限公司
重慶直供HUGLE藤宮全自動EUV POD清潔系統成都及西南區客戶共享資源
        
    
    
    

    
    
        
    
            詳情介紹：
        
    
        
    
            
    
	
    
		全自動EUV POD清潔系統REN 
	
    
	
    
	
    

    

    
	
    
		 
		
	
    
	
    
		
    
			它是用于EUV暴露的EUV POD的全自動清潔裝置，這是新的曝光技術。除了拆卸/重新組裝內部POD和外部POD之外，每個POD都使用單獨的專用CH進行清潔/干燥。
    
完全無人值守的操作也是可能的。
    
采用獨特的清潔/干燥技術實現納米級顆粒去除30年，作為半導體設備容器清潔設備制造商。 
		
    
		
    
			
		
    
	
    
	

    

    
	
    
		產品概述 
	
    
	
    
		-足跡設計
    
，專有清洗技術通過超精密清洗
    
和高效的干燥系統完全干燥實現通過
    
，全自動POD開放的交叉污染預防由
    
-RSP200兼容
    
機器人手自清潔系統內置
    
-獨立專用室** 
	
    

    

    
	
    
		規范 
	
    
	
    
		裝置主體：1230（寬）×2900（深）×2300（高）毫米（不包括突起） 
	
    

    
        
    
    
    

    
 
    
    

    

                            

                            
    
    
    
    
    
        
    

  
    


          
    
              
    
                  
              
    
          
    
          
    
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