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產品名稱：USHIO牛尾布丁タブル圖案化用光源組合“VUV班機”
產品型號：VUV班機
產品廠商：USHIO牛尾
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簡單介紹：

USHIO牛尾布丁タブル圖案化用光源組合“VUV班機” USHIO牛尾布丁タブル圖案化用光源組合“VUV班機”

詳情介紹：

****次用燈方式的真空紫外平行光。
真空紫外光的親水化圖案化方式比以前的リソグラフィープロセス相比大幅縮短工序，實現共同印刷方式不能得到的微細圖案形成實現了。有機晶體管，ウェアラブルセンサー，生物設備等新領域的實現道路就會打開。此外，新開發的高亮度脈沖光源（PAT申請中）的平行光化，L / S = 5 / 5μm以下※的解像性能，實現。大面積化的咨詢也請咨詢
※使用抗蝕劑：東京応化工業株式會社制：TArF - P 6111（膜厚260納米）
固化、粘接
リソ?パターニング
改性分解
清洗
**、除臭
MEMS·電子部件
半導體
液晶顯示器
基板·PKG
汽車船舶
生物化學
印刷
光學

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