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    產品詳情
    • 產品名稱:日本HONDA本多W-357BM系列[高頻分離型]清洗機(代理)

    • 產品型號:槽式清洗機
    • 產品廠商:HONDA本多
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    簡單介紹:
    用途(槽式清洗機) ?磁頭清洗 ?晶圓清洗 ?藍寶石晶圓清洗 ?加工后的半導體器件的清洗 ?硬盤清洗 ?容易受損的鋁和鏡面拋光的產品等的清洗。
    詳情介紹:

    規格

    發振器

    類型 W-357BM-600 W-357BM-1200
    發振方式 單頻振蕩
    額定輸出 600W 1200W
    輸出變量范圍 100W~600W 200W~1200W
    標稱振蕩頻率 1MHz
    電源輸入 AC200V?240V
    單相 50/60Hz 1200VA
    AC200V?240V
    單相 50/60Hz 2400VA
    顯示 VFD(熒光顯示管)16個字符×2行
    外接界面 模擬輸出 4-20mA電流輸出
    觸點輸出 3點 報警輸出、振蕩檢測輸出、電源接通輸出
    外部驅動器輸入 2點 傳感器輸入,遠程輸入
    RS485通信 MODBUS®協議,RTU模式*1
    外部尺寸(不包括凸出部分,包括橡膠腳)
    WxDxHmm
    220×360×143 360×360×143
    質量  5kg 7kg

    ●周圍工作環境:溫度:5~40℃,濕度:5~80%(無凝露)
    ●電源線長度:3米
    *1 MODBUS是施耐德電氣美國公司的注冊商標。

    振蕩器單元

    可根據要求提供定制的傳感器單元。
    ?*大允許的輸入:600 W / 1200 W / 1800 W / 2400 W / 3000 W / 3600 W
    ?支持的晶圓:6" / 8" / 12"

    F型 | 振板式

    F型 | 振板式

     

     

     

    類型

    W-357BM-600F

    W-357BM-1200F
    發振器類型 W-357BM-600 W-357BM-1200
    *大的輸入許可 600W 1200W
    標稱驅動頻率 1MHz
    有效照射面積
    W×Dmm
    135×160 272×154
    外部尺寸
    W×D×Hmm(不包括布線和管道工程)
    250×220×68 355×245×68
    材質 板:SUS316L 表面電解研磨
    質量 3.3kg 7kg
    支持的晶圓尺寸 6 inch 8 inch
    換能器線長 5m 5m×2

    ●接液部材質:振動板:SUS316L
    ●使用液溫度範囲:5~80℃
    ●振動子:PZT

    S型 | 槽型

    S型 | 槽型

     

    類型 W-357BM-600S W-357BM-1200S
    發振器類型 W-357BM-600 W-357BM-1200
    *大的輸入許可 600W 1200W
    標稱驅動頻率 1MHz
    有效照射面積
    W×Dmm
    135×160 135×160 2處
    尺寸
    W×D×Hmm
    (不包括突出的部分)
    外形 302×296×372(包括橡膠腳) 496×336×372(包括橡膠腳)
    內槽 248×236×252 442×276×252
    材質 水槽:SUS316L 墊片:氟橡膠,PTFE
    排水閥 1/2 inch
    質量 11.6kg 18kg
    支持的晶圓尺寸 6 inch 6 inch ×2
    換能器線長 5m 5m×2

    ●接液部件材料:振板、水槽:SUS316L 墊片:PTFE 供水/排水管接頭:SUS304
    ●工作液體溫度范圍:5-80°C
    ●換能器:PZT

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