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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
緊湊型真空泵FV-60（高真空型）
詳情介紹：
緊湊型真空泵FV-60（高真空型）的特點(diǎn)
- 通過將隔膜安裝在密閉空間內(nèi)，分兩級(jí)減壓，具有串聯(lián)結(jié)構(gòu)。
- HEPA過濾器安裝在進(jìn)氣和排氣部分。也可用于潔凈室。此外，通過主機(jī)的透明窗口可以看到過濾器，因此您可以知道何時(shí)更換它。
- 處理范圍相當(dāng)于*大 12 英寸的硅晶圓。
規(guī)格
|
代碼 |
FV-60 |
|
姓名 |
真空泵FV-60 |
|
額定電壓 |
AC-100V(50Hz) |
|
能量消耗 |
10.0W |
|
極限吸氣壓力 |
-85kPa |
|
流量 |
2.5升/分鐘 |
|
尺寸 |
長(zhǎng)137×寬88×高133（毫米） |
|
大量的 |
1.250克 |
|
耐力時(shí)間 |
超過 9,000 小時(shí) |
|
使用極限溫度 |
40℃ |
注1：泵流量和極限吸入壓力值為50Hz時(shí)的值。在 60Hz 下使用時(shí)大約減少 20%。
*此數(shù)據(jù)供國(guó)內(nèi)使用。
*此數(shù)據(jù)供國(guó)內(nèi)使用。
泵緩沖器
