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  25. 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:授權(quán)廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器

    • 產(chǎn)品型號:AeroBarMP Model 5635
    • 產(chǎn)品廠商:SIMCO思美高
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
    • 產(chǎn)品文檔:
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    簡單介紹:
    授權(quán)廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器 5635型Aerobar MP離子發(fā)生器是一種超低顆粒兼容產(chǎn)品,適用于需要100 nm或更低微粒度管理的場所的靜電消除,包括先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝 授權(quán)廠家直銷 SIMCO思美高靜電消除器
    詳情介紹:
    特點(diǎn)
    • 在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄的單晶硅電極避免了由于超低顆粒特性和電極材料而導(dǎo)致金屬污染的風(fēng)險(xiǎn)
    • 通過原始MP(脈沖調(diào)制)方法將離子有效地帶到目標(biāo)的高效靜電消除
    • 即使在100 mm距離和離子平衡下也可以使用的小電位擺動特性,在棒長度上幾乎沒有偏差
    • 離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡由智能控制電路自動管理
    • 可旋轉(zhuǎn)1/4旋轉(zhuǎn)的可更換電極有助于減少維護(hù)工時
    • 由于MP系統(tǒng)的特性,潛在的擺動非常小,因此設(shè)置簡單。此外,小電位擺動有效地保持了管理標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)的長期離子平衡
    • 設(shè)置與半導(dǎo)體前端EFEM對應(yīng)的長度條
    • 緊湊的24 V DC驅(qū)動控制器設(shè)計(jì)
    • 全球范圍內(nèi)提供上等支持網(wǎng)絡(luò)
     
    規(guī)范
    型號5635 AeroBar MP
    輸入電壓 24 V DC +/- 10%
    輸出電壓 高達(dá)約13.5kv pp可調(diào)
    安裝距離 100毫米至1000毫米(無空氣吹掃)
    離子發(fā)生方法 電暈放電方法
    MP(脈沖調(diào)制)方法調(diào)制頻率1至33 Hz
    離子平衡 自動平衡調(diào)整方法
    <+/- 10 V由于直接位于條形下方的位置<+/- 10 V 
    (600 mm距離)
    電極 單晶硅電極可更換
    吹掃氣體 清潔干燥空氣或N 2
    *大吹掃壓力 310 Kpa
    臭氧量 <0.05 ppm(24小時積分值)
    信號輸出 報(bào)警IO開路集電極輸出
    高度78 mm x深度34 mm x長度如下
    450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
    mm
    外觀 ABS樹脂

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    對于擴(kuò)展ISO Class1,10nm?這是為了自己的確定級別的ION系統(tǒng)的清潔度,以應(yīng)對微小粒子管理的定義。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米(34 PC /立方英尺 ) 至少一個粒徑10nm的

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